高导热氮化硅陶瓷的制备及其在电子封装基板中的应用
2020-10-10
氮化硅陶瓷具有高强度、高韧性、耐腐蚀、耐高温、抗氧化、比重低以及抗热震等优良性能,具有良好的发展前景。另外,氮化硅陶瓷具有比较高的理论热导率,该特性使其被认为是一种很有潜力的高速电路和大功率器件散热和封装材料。高导热氮化硅陶瓷的制备原料粉体的选择氮化硅具有两种晶型:α-Si3N4和β-Si3N4,高温下α相为非稳定态,易转化为高温稳定的β相。研究发现随氮化硅陶瓷中β相含量在40%-100%范围内逐渐增大时,氮化硅陶瓷热导率呈线性增加,故高纯β相是获得高导热氮化硅陶瓷的关键因素。α-Si3N4和β-Si3N4粉都可作为制备β-Si3N4陶瓷的原料。以α-Si3N4粉末...